МИЭТ

Национальный
исследовательский
университет

Орден трудового красного знамени
Рейтинг QS
Институт нано- и микросистемной техникиСотрудники Института НМСТПодразделения  
Директор: д.т.н., профессор Сергей Петрович Тимошенков
телефон: (499) 720-87-68, внутренний телефон: 29-68
E-mail: spt@miee.ru


Основные направления научных исследований:

  • конструирование и разработка микроэлектромеханических систем (МЭМС);

  • разработка конструктивно-технологических принципов создания микромеханических приборов: микрогироскопов, акселерометров, датчиков и др.;

  • разработка конструктивно-технологических принципов построения микроэлектронных устройств и компьютерно-интегрированной технологии их производства на основе современной элементной базы, включая вопросы создания многокристальных микромодулей;

  • разработка и исследование технологических процессов формирования структур «кремний-на-изоляторе» базовых структур ИМС для специальной аппаратуры и гражданского применения;

  • разработка тепловых микроактюаторов для МЭМС и микрооптоэлектромеханических систем (МОЭМС) и устройств на их основе;

  • разработка технологии внутреннего монтажа кристаллов на печатных платах;

  • разработка и исследование технологии корпусирования кристаллов на уровне пластины;

  • разработка технологии изготовления интерпозеров с TSV, 3D микросборок;

  • исследование, разработка и изготовление высокоплотных печатных плат;

  • разработка и исследование формирования гибко-пластичных оснований для микроэлектронных устройств.


По результатам выполненных за последние 3 года ОКР и НИР Институтом НМСТ НИУ МИЭТ получены патенты на изобретения и полезные модели:

1. Пат. 153038 Российская Федерация, МПК G 01 P 15/10, 153 038 U1. Частотный датчик линейных ускорений / Тимошенков С.П., Шилов В.Ф., Миронов С.Г., Глазков О.Н., Тимошенков А.С. : заявитель и патентообладатель Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электронной техники (технический университет), Общество с ограниченной ответственностью “Лаборатория Микроприборов”. - № 2015103686/28 ; заявл. 05.02.2015 ; опубл. 27.06.2015, Бюл. № 18.

2. Пат. 2556697 Российская Федерация, МПК H 05 K 3/46, H 05 K 3/22, 2 556 697 C1. Способ изготовления гибкой микропечатной платы / Тимошенков С.П., Шилов В.Ф., Миронов С.Г., Киргизов С.В., Тихонов К.С., Долговых Ю.Г., Вертянов Д.В., Тимошенков А.С., Титов А.Ю. : заявитель и патентообладатель Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электронной техники (технический университет). - № 2014119507/07 ; заявл. 15.05.2014 ; опубл. 20.07.2015, Бюл. № 20.

3. Пат. 2559336 Российская Федерация, МПК H 01 L 21/308, 2 559 336 C1. Способ микропрофилирования кремниевых структур / Тимошенков С.П., Шилов В.Ф., Миронов С.Г., Рапидов М.О., Тимошенков А.С. : заявитель и патентообладатель Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электронной техники (технический университет). - № 2014119505/28 ; заявл. 15.05.2014 ; опубл. 10.08.2015, Бюл. № 22.

4. Пат. 154143 Российская Федерация, МПК G 01 P 15/02, 154 143 U1. Чувствительный элемент микромеханического акселерометра / Тимошенков С.П., Калугин В.В., Шилов В.Ф., Миронов С.Г., Тимошенков А.С. : заявитель и патентообладатель Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электронной техники (технический университет). - № 2015113516/28 ; заявл. 14.04.2015 ; опубл. 20.08.2015, Бюл. № 23.

5. Пат. 154439 Российская Федерация, МПК G 01 P 15/02, 154 439 U1. Чувствительный элемент датчика линейных ускорений / Тимошенков С.П., Калугин В.В., Миронов С.Г., Тимошенков А.С. : заявитель и патентообладатель Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электронной техники (технический университет). - № 2015120243/28 ; заявл. 28.05.2015 ; опубл. 27.08.2015, Бюл. № 24.

6. Пат. 2564810 Российская Федерация, МПК G 01 P 15/08, G 01 P 15/093, G 01 P 15/00, 2 564 810 C1. Линейный микроакселерометр с оптической системой / Кремерова Т.А., Лисевская А.В., Тимошенков А.С., Адамов Ю.Ф. : заявитель и патентообладатель Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электронной техники (технический университет). - № 2014115441/28 ; заявл. 18.04.2014 ; опубл. 10.10.2015, Бюл. № 28.

7. Пат. 155338 Российская Федерация, МПК G 01 P, 155 338 U1. Резонансный микромеханический акселерометр / Тимошенков С.П., Шилов В.Ф., Миронов С.Г., Глазков О.Н., Тимошенков А.С. : заявитель и патентообладатель Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электронной техники (технический университет), Общество с ограниченной ответственностью “Лаборатория Микроприборов”. - № 2015103658/28 ; заявл. 05.02.2015 ; опубл. 10.10.2015, Бюл. № 28.

8. Пат. 2571880 Российская Федерация, МПК H 01 L 21/50, H 05 K 3/30, H 05 K 3/40 H 05 K 3/46, 2 571 880 C1. Способ монтажа микроэлектронных компонентов / Тимошенков С.П., Вертянов Д.В., Назаров Е.С. : заявитель и патентообладатель Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электронной техники (технический университет), общество с ограниченной ответственностью “Научно-производственное предприятие “КБ Рабуга”. - № 2015102982/07 ; заявл. 30.01.2015 ; опубл. 27.12.2015, Бюл. № 36.

9. Пат. 160457 Российская Федерация, МПК G 01 P 15/00, 160 457 U1. Чувствительный элемент интегрального акселерометра / Тимошенков С.П., Миронов С.Г., Тимошенков А.С., Цейгалов А.В., Брыкин А.В. : заявитель и патентообладатель Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электронной техники (технический университет). - № 2015143849/28 ; заявл. 14.10.2015 ; опубл. 20.03.2016, Бюл. № 8.

10. Пат. 2609764 Российская Федерация, МПК С 23 С 14/35, H 01 L 21/203, 2 609 764 C1. Способ получения аморфных пленок халькогенидных стеклообразных полупроводников с эффектом фазовой памяти / Тимошенков С.П., Шерченков А.А., Коробова Н.Е., Лазаренко П.И., Калугин В.В., Бабич А.В. : заявитель и патентообладатель Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электронной техники (технический университет). - № 2015145724 ; заявл. 26.10.2015 ; опубл. 02.02.2017, Бюл. № 4.

11. Пат. 2610058 Российская Федерация, МПК G 11 C 11/00, 2 610 058 C1. Способ получения материала фазовой памяти / Козюхин С.А., Варгунин А.И., Шерченков А.А., Лазаренко П.И., Бабич А.В. : заявитель и патентообладатель Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электронной техники (технический университет). - № 2015152018 ; заявл. 04.12.2015 ; опубл. 07.02.2017, Бюл. № 4.

12. Пат. 170862 Российская Федерация, МПК G 01 P 15/02, 170 862 U1. Чувствительный элемент датчика удара / Шалимов А.С., Тимошенков С.П., Головинский М.С., Гундарцев М.А., Косолапова Г.В., Цейгалов А.В., Горошко В.Н. : заявитель и патентообладатель федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования “Национальный исследовательский университет “Московский институт электронной техники”. - № 2016150635 ; заявл. 22.12.2016 ; опубл. 11.05.2017, Бюл. № 14. – 7 с. : ил.

13. Пат. 2631071 Российская Федерация, МПК C 23 C 14/06, H 01 L 21/203. Способ получения аморфных пленок халькогенидных стеклообразных полупроводников с эффектом фазовой памяти / Тимошенков С.П., Шерченков А.А., Коробова Н.Е., Лазаренко П.И., Бабич А.В. : заявитель и патентообладатель федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования “Национальный исследовательский университет “Московский институт электронной техники”. - № 2016107474 ; заявл. 02.03.2016 ; опубл. 18.09.2017, Бюл. № 26.

14. Пат. 2636575 Российская Федерация, МПК H 05 K 3/46. Способ изготовления пластичных радиоэлектронных узлов и межсоединений / Тимошенков С.П., Вертянов Д.В., Николаев В.М., Шишов А.М. : заявитель и патентообладатель федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования “Национальный исследовательский университет “Московский институт электронной техники”. - № 2016126452 ; заявл. 01.07.2016 ; опубл. 24.11.2017, Бюл. № 33.

15. Пат. 2638919 Российская Федерация, МПК G 01 P 15/125, 2 638 919 С1. Электронная система компенсационного акселерометра / Шалимов А.С., Тимошенков С.П., Анчутин С.А. : заявитель и патентообладатель федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования “Национальный исследовательский университет “Московский институт электронной техники”. - № 2016144765 ; заявл. 16.11.2016 ; опубл. 18.12.2017, Бюл. № 35. – 10 с. : ил.

16. Заявка 2017108287 Российская Федерация, МПК Н 03 Н 9/46. Способ выделения полезной составляющей из входного сигнала, содержащего полезную составляющую и шум / Шалимов А.С. : заявитель Шалимов А.С. - № 2017108287 ; опубл. 22.06.2017, Бюл. № 18. – 6 c. : ил.

17. Заявка 2017133293 Российская Федерация, МПК Н 04 В 1/10. Способ выделения полезной составляющей из входного сигнала, содержащего полезную составляющую и шум / Шалимов А.С. : заявитель Шалимов А.С. - № 2017133293 ; опубл. 14.11.2017, Бюл. № 32. – 12 c. : ил.

18. Заявка 065029 Российская Федерация, МПК G 01 H 13/00. Измерительный стенд для определения характеристик датчика ориентации / Разживалов П.Н., Коробова Н.Е., Тимошенков С.П. : заявитель и патентообладатель федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования “Национальный исследовательский университет “Московский институт электронной техники”. - № 065029 ; опубл. 25.10.2017.

Изделия микросистемной техники:


3D МЭМС
3D Mems_1.JPG3D Mems_2.JPG
Микромеханические акселерометры АРКХ, ММА, ИМСУ
ARKH,MMA.IMCU.jpg
3D акселерометр
3D aksel.JPG
Микромеханический гироскоп
Mikromehamicheskiy.jpg
Блок инерциальных датчиков
Blok.jpg
Курсовертикаль на базе микромеханических датчиков
kursovertikal.jpg
Инклинометр на базе микромеханических акселерометров
inklinometr.jpg
Бесплатформенная инерциальная навигационная система на базе микромеханических датчиков
Navigatcionnaya sistema.jpg