МИЭТ

Национальный
исследовательский
университет

Орден трудового красного знамени
Рейтинг QS

Технология наноэлектронных систем

Авторы:Тимошенков Сергей Петрович, д.т.н., проф
Калугин Виктор Владимирович. д.т.н., проф

Описание курса

Дисциплина «Технология наноэлектронных систем» относится к профильному модулю базовой части цикла профессиональных дисциплин. Примерным учебным планом и примерной рабочей программой предусмотрены аудиторные лекционные занятия, а также организация самостоятельной работы студентов. Дисциплина имеет своей целью формирование компетенций проектно-технологической деятельности в области технологии наноэлектронных систем, в том числе: - формирование у студентов знаний о современных достижениях в технологии наноэлектронных систем. -формирование знаний комплексного технологического маршрута: от подготовки пластин, создания многопрофильных структур, соединений кремниевых пластин и микроконтактирования до общей герметизации наноэлектронных систем, включая вопросы обеспечения эффективного теплоотвода на основе применения углеродных нанотрубок.