МИЭТ

Национальный
исследовательский
университет

Орден трудового красного знамени
Рейтинг QS
Кафедра технической механики  
Заведующий кафедрой: д.т.н., профессор Анатолий Иванович Погалов
телефон: (499) 720-85-71, внутренний телефон: 28-71
E-mail: dtm@miee.ru
Аудитория: 4223

Научно-исследовательская работа

На кафедре подготовлено и защищено 6 докторских и 16 кандидатских диссертаций. Доктора наук: В.И. Ушаков (1984), В.З. Гребенкин (1986), В.Н. Тимофеев (1990), О.А. Кузнецов (1991), В.М. Редин (1992), А.И. Погалов (1994).

Основные направления научных исследований кафедры:

  • Механика материалов и конструкций радиоэлектронных средств; моделирование, прочность и динамический анализ микроприборов (руководитель профессор Погалов А.И.);
  • Теория, расчет и проектирование механических устройств чистых производств (руководитель профессор Гребенкин В.З.);
  • Физическая механика материалов, теория и расчет напряженно-деформированного состояния интегральных структур и микросистемных устройств (руководитель профессор Тимофеев В.Н.).

В 1996-2012 гг. кафедра участвовала в научно-технических программах, грантах и исследованиях:

  • Наукоемкие технологии образования;
  • Производственные технологии. Механика в машиностроении;

и совместных научных работах с предприятиями и НИИ г. Зеленограда:

  • Наноэлектроника. Микро- и наносистемная техника;
  • Разработка технологического оборудования высокотемпературной обработки одиночных полупроводниковых пластин большого диаметра;
  • Исследование и разработка перспективных технологических методов создания компонентов микросистемной техники с субмикронными размерами;
  • Фундаментальные основы моделирования сенсорных микросистем.

По результатам научных исследований опубликовано 7 монографий.

  • Основы балансировочной техники. Том 1. Уравновешивание жестких роторов и механизмов. Берке В.Н., Захаров В.А., Николаевский Е.В. и др. М.: Машиностроение, 1975 г;
  • Кузнецов О.А., Погалов А.И. Прочность паяных соединений. - М.: Машиностроение, 1987;
  • Сергеев В.С., Кузнецов О.А., Захаров Н.П., Летягин В.А. Напряжения и деформации в элементах микросхем. - М.: Радио и связь, 1987;
  • Кузнецов О.А., Погалов А.И., Сергеева В.С. Прочность элементов микроэлектронной аппратуры.-М.: Радио и связь, 1990;
  • Захаров Н.П., Багдасарян А.В. Механические явления в интегральных структурах. -М.: Радио и связь, 1992;
  • Чистые помещения / Под ред. И. Хаякавы. Ред. перевода с японск. В.Г. Ржанов и В.И. Ушаков. М.: Мир, 1990;
  • Машиностроение. Энциклопедия. Технологии, оборудование и системы управления в электронном машиностроении, т. Ш-8/ Ю.В.Панфилов, Л.К.Ковалев, Н.В. Гревцев и др. / Под общ. Ред. Ю.В.Панфилова, 2000 г.