МИЭТ

Национальный
исследовательский
университет

Орден трудового красного знамени
Рейтинг QS
Кафедра микроэлектроники  
Заведующий кафедрой: д.т.н., профессор Сергей Петрович Тимошенков
телефон: (499) 720-87-68, факс: (499) 720-87-62, (499) 720-87-68, внутренний телефон: 29-68, 25-41
E-mail: spt@miee.ru
Сайт: http://cathedra.me/
Аудитория: 4112

Научная работа кафедры микроэлектроники

Основные направления научных исследований:

  • конструирование и разработка микроэлектромеханических систем (МЭМС);
  • разработка конструктивно-технологических принципов создания микромеханических приборов: микрогироскопов, акселерометров, датчиков и др.;
  • разработка конструктивно-технологических принципов построения микроэлектронных устройств и компьютерно-интегрированной технологии их производства на основе современной элементной базы, включая вопросы создания многокристальных микромодулей;
  • разработка и исследование технологических процессов формирования структур «кремний-на-изоляторе» базовых структур ИМС для специальной аппаратуры и гражданского применения;
  • разработка и исследование средств бесконтактной идентификации.

Изделия микросистемной техники:

image029.jpg Гироскоп

image030.jpg Система на основе инерциальных микромеханических датчиков

image035.jpgimage038.jpg Микромеханическое зеркало

image039.jpg Микромеханический акселерометр

Многокристальные модули памяти:

image031.jpgimage032.jpg Модуль памяти в двухмерном исполнении

image036.jpgimage037.jpg Модуль памяти в трехмерном исполнении

image040.jpgimage041.jpgimage042.jpg Высокоточная сборка многовыводных СБИС в бескорпусном исполнении

Средства бесконтактной идентификации:

image033.jpg Объемные для живых объектов, частота 125 кГц


image034.jpg Плоские идентификаторы, частота 13,56 МГц

Подготовка кадров высшей квалификации:

  • 05.27.06 «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники»;
  • 05.13.06 «Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами».

Инновационная научно-техническая продукция:

  • МЭМС и различные микромеханические гироскопы, акселерометры и системы на их основе для измерения параметров движения подвижных объектов, отклонения от вертикали, стабилизации, измерения ускорений и вибрации;
  • высокоинтегрированные многокристальные модули памяти в трехмерном исполнении;
  • средства бесконтактной идентификации для многопрофильного применения, включая живые обьекты;
  • расчет и конструирование узлов и элементов технологического оборудования МЭ;
  • разработка элементов сложнофункционального микропривода для функционирования в МЭМС.

В качестве научных достижений кафедры следует отметить:

  • Разработку блока инерциальных датчиков для определения угловых скоростей объекта. НИР, 2010. Руководители Тимошенков С.П., Кочурина Е.С.
  • Разработку робототехнического комплекса космического назначения с использованием микросистемной техники, 2010. НИР Руководитель Бритков И.М.
  • Исследование физико-химических методов получения трехмерных микро- и наноразмерных структур, 2010. НИР Руководитель Калугин В.В.
  • Исследование физико-химических методов получения трёхмерных микро- и наноразмерных структур, 2010. НИР Руководитель Калугин В.В.
  • Разработку методов формирования газопоглащающих покрытий для изготовления герметичных элементов микросистем вибрационного типа, 2009-2011. НИР Руководитель Бойко А.Н.
  • Разработку космической системы навигации использующей блоки инерциальных датчиков, 2010-2011. НИР Руководитель Бритков И.М.
  • Исследование конструктивно-технологических основ построения малогабаритных систем ориентации и систем измерения динамических характеристик безкаркасного крыла на тканевой основе у сверхлёгких летательных аппаратов (парапланов и кайтов) на основе микромеханических инерциальных датчиков, 2010-2011. НИР Руководитель Тимошенков Ал.С.
  • Разработку макета модулей приема информации малогабаритных многокристальных модулей. 2011. ОКР Руководители Калугин В.В., Титов А.Ю.
  • Услуги по оказанию образовательных услуг по профессиональной переподготовке (далее по тексту – «Обучение») двадцати одного сотрудника ООО «ЭСТО-Вакуум» по программе, ориентированной на инвестиционные проекты по расширению производства семейства автоматизированных вакуумных установок для ионно-плазменного нанесения и травления микро- и наноструктур. 2011-2012. Руководители Тимошенков С.П., Косолапова Г.В.
  • Исследование технологического процесса глубокого анизотропного плазмо-химического травления кремния, 2011-2012. НИР. Руководитель Тимошенков С.П.
  • Разработку системы для определения движения кисти руки, 2011-2012. НИР Руководитель Бритков И.М.
  • Разработку микроинклинометра, изготавливаемого по технологии объемной микромеханики, 2011-2012. НИР Руководители Тимошенков С.П., Кочурина Е.С.
  • Разработку технического проекта двумерных управляемых матриц микрозеркал с размерами 100×100 мкм, 2012. ОКР. Руководители Коробова Н.Е., Вертянов Д.В.
  • Исследование технологического процесса формирования геттерирующих слоев для создания высокодобротных кремниевых микромеханических резонаторов с наноэлементами, 2012. НИР. Руководители Тимошенков С.П., Бойко А.Н.
  • Разработку технологий и методов создания приемников инфракрасного излучения и других датчиков на основе многослойных микромеханических структур с применением принципов оптического и полевого детектирования перемещений, 2010-2012 Руководители Тимошенков С.П., Евстафьев С.С.
  • Исследование и разработку методов переработки отходов тонкодисперсного кремния в двумерные наноструктуры для солнечной энергетики, 2010-2012. НИР Руководители Симонов Б.М., Сухоруков Дм.О.
  • Разработку конструктивно-технологических принципов формирования и организация опытного производства многослойных конформных коммутационных плат (МККП) для авиационных и космических систем, 2010-2012. ОКР Руководители Тимошенков С.П., Титов А.Ю., Тихонов К.С., Долговых Ю.Г.
  • Исследование процессов высокопрецизионного глубокого травления индуктивно-связанной плазмой при получении структур нано- и микросистемной техники, 2010-2012. НИР Руководители Зарянкин Н.М., Виноградов А.И.
  • Разработку радиационно-стойкого микромеханического акселерометра на основе структур «/кремний-на-изоляторе/», 2010-2012. НИР Руководители Артёмов Е.И., Евстафьев С.С.
  • Разработку малогабаритного блока инерциальной информации с датчиками на основе кристаллических материалов, 2010-2012. НИР Руководитель Бритков О.М.
  • Научно-популярные материалы «Большое в малом», НИР по теме «Исследование и разработка технологических процессов формирования наноструктурированных газопоглощающих слоев МЭМС» (исследования выполнены при поддержке Министерства Образования и Науки РФ, проект №14.B37.21.1619)