МИЭТ

Национальный
исследовательский
университет

Орден трудового красного знамени
Рейтинг QS
Кафедра интегральной электроники и микросистем  
Заведующий кафедрой: академик РАН, д.т.н., профессор Юрий Александрович Чаплыгин
телефон: (499) 720-87-24, факс: (499) 710-19-65, внутренний телефон: 29-24, 25-95
E-mail: ieem@miee.ru
Аудитория: 4238

Технология

Осенний семестр

Название курса

Лектор

1

Технология ИС

Путря М.Г., д.т.н., профессор

2

Основы технологии ЭКБ

Шевяков В.И., д.т.н., профессор

3

Базовая КМОП-технология

Королев М.А., д.т.н., профессор

5

Вакуумная и плазменная технология

Голишников А.А., к.т.н., доцент

Весенний семестр

1

Маршруты БИС

Поломошнов С.А., к.т.н., доцент

2

Технологические процессы наноэлектроники

Шевяков В.И., д.т.н., профессор

3

Базовая КМОП-технологии. Спец. разделы

Королев М.А., д.т.н., профессор

4

Моделирование технологических процессов

Крупкина Т.Ю., д.т.н., профессор