МИЭТ

Национальный
исследовательский
университет

Орден трудового красного знамени
Рейтинг QS

Бойко Антон Николаевич

кандидат технических наук, доцент
Бойко Антон Николаевич
Телефон: (499) 720-87-68
Факс: (499) 720-87-68
E-mail: anton.bojko@mail.ru
Аудитория: 4112

ПодразделениеДолжность
Институт нано- и микросистемной техникидоцент

Краткая биография

Окончил в 2001 году Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова, квалификация магистр техники и технологии по направлению «Электроника и микроэлектроника».

В 2006 году защитил кандидатскую диссертацию по теме «Конструктивно-технологические особенности изготовления микроэлектромеханических устройств торсионного типа» по специальности 05.27.06.

С 2006 года по настоящее время – ст. преподаватель, доцент кафедры микроэлектроники


Читаемые курсы

  • Технология и конструирование интегральных микросхем
  • Микро- и нанотехнологии производства электронных средств

Научная деятельность

Основные научные интересы:

  • технологии герметизации микросистемной техники
  • газопоглощающие материалы и устройства для микросистемной техники

Достижения:

  1. Грант Президента Российской Федерации для поддержки молодых российских ученых – кандидатов наук, 2008 г.
  2. Грант для проведения научных исследований в Германии по российско-германской программе «Михаил Ломоносов-II», 2010/2011 гг.
  3. Грант на поддержку научных исследований в рамках федеральной целевой программы «Научные и научно-педагогические кадры инновационной России» на 2009-2013 годы, 2012/2013 г.

Публикации:

Автор и соавтор более 30 публикаций, а также 2 учебно-методических пособий и 4 патентов.

Основные научные публикации:

  1. S. P. Timoshenkov, A. N. Boiko, B. M. Simonov, “Parameter estimation technique for sensitive elements of microaccelerometers and micromirrors”, Semiconductors, Volume 42, Number 13, 2008. pp. 1564-1568. doi: 10.1134/S1063782608130241
  2. S. Timoshenkov, D. Gaev, A. Boyko, “The Use of Porous Silicon for Nanostructuring of Functional Metal Layers for MEMS”, Applied Mechanics and Materials, Vols. 313-314, 2013, pp. 108-111. doi: 10.4028/www.scientific.net/AMM.313-314.108
  3. A. Boyko, D. Gaev, S. Timoshenkov, D. Litmanovich, “Controllable Growth of Copper Fractal Aggregates on Structurally Modified Silicon Surface”, Proc. of the XXXII International Scientific Conference ELNANO'2013, Kyiv, 2013. pp. 185-187. doi: 10.1109/ELNANO.2013.6551999
  4. A. Boyko, D. Gaev, S. Timoshenkov, Y. Chaplygin and V. Petrov, "The Study of Different Structuring Techniques for Creation of Non-Evaporable Getters," Materials Sciences and Applications, Vol. 4 No. 8A, 2013, pp. 57-61. doi: 10.4236/msa.2013.48A007.
  5. Тимошенков С.П., Гаев Д.С., Бойко А.Н., Галиуллин Р.Р. Наноструктурированные газопоглощающие геттерные пленки на основе TiV// Наноматериалы и наноструктуры – XXI век, №4, 2013. С. 37-41.
  6. A. Boyko, D. Gaev, S. Timoshenkov, “Application of Fractal Analysis for Estimation of Morphological and Physical Properties of Nanostructured Materials”, Proc. of the XII International Conference on Nanostructured Materials (NANO 2014), Moscow, 2014, pp02.005.
  7. A. Boyko, A. Shalimov, S. Timoshenkov, P. Kovyrkin, "Development of driving setup for micromechanical friction vacuum gauge ", Proc. SPIE 9440, International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2014, 94400U (December 18, 2014); doi:10.1117/12.2180876

Патенты:

  1. Пат. 2439739 РФ, Нанокомпозитная газопоглощающая структура/ С.П. Тимошенков, Д.С. Гаев, А.Н. Бойко. – №2010148881/07; заявл. 01.12.2010; опубл. 10.01.2012, Бюл. №1. – 6 с.
  2. Пат. 2474912 РФ, Способ получения газопоглощающей структуры/ С.П. Тимошенков, Д.С. Гаев, А.Н. Бойко. – №2011135024/07; заявл. 23.08.2011; опубл. 10.02.2013, Бюл. №4. – 9 с.
  3. Пат. на полезную модель 128394 Российская Федерация, Газопоглощающая структура/ С.П. Тимошенков, Д.С. Гаев, А.Н. Бойко. – 2012149070/07; заявл. 20.11.2012; опубл. 20.05.2013, Бюл. №14.
  4. Пат. 2523718 РФ, Нанокомпозитная газопоглощающая структура и способ ее получения/ С.П. Тимошенков, Д.С. Гаев, А.Н. Бойко. – №2012149068/07; заявл. 20.11.2012; опубл. 20.07.2014, Бюл. №20. – 8 с.
  5. Пат. 2538420 РФ, Устройство контроля герметичности микроструктур/ А.Н. Бойко, Д.С. Гаев, С.П. Тимошенков. – №2012140768/28; заявл. 25.09.2012; опубл. 10.01.2015, Бюл. №9. – 7 с.