МИЭТ

Национальный
исследовательский
университет

Орден трудового красного знамени
Рейтинг QS

Голишников Александр Анатольевич

кандидат технических наук
Голишников Александр Анатольевич
Телефон: (499) 720-85-89
E-mail: A.Golishnikov@tcen.ru
Аудитория: 7105

ПодразделениеДолжность
Кафедра интегральной электроники и микросистемдоцент

Краткая биография

Родился в 1960 году в г. Москве.

В 1984 году закончил Московский институт электронной техники.

В 2002 году защитил кандидатскую диссертацию на соискание степени кандидата технических наук по специальности 05.27.01 на тему «Исследование и разработка процессов плазменного травления функциональных слоев СБИС с использованием источников высокоплотной плазмы».

Стаж научно-педагогической деятельности составляет более 20 лет, в том числе стаж педагогической работы в высших учебных заведениях более 8 лет. Автор более 50 научных работ.

Специалист в области технологии микро- и наноэлектроники, процессов травления и получения металлических пленок с использованием низкотемпературной газовой плазмы.


Читаемые курсы

Для потока студентов-инженеров пятого курса ЭКТ факультета (лекции, лабораторные работы):

- Вакуумные и плазменные технологии

Для магистрантов 5 курса ЭКТ факультета (лекции, лабораторные работы):

- Плазменные технологии в СБИС