МИЭТ

Национальный
исследовательский
университет

Орден трудового красного знамени
Рейтинг QS

Громов Дмитрий Геннадьевич

доктор технических наук, профессор
Громов Дмитрий Геннадьевич
Телефон: (499) 720-85-49 25-33
E-mail: gromadima@gmail.com

ПодразделениеДолжность
Институт перспективных материалов и технологийпрофессор

Краткая биография

Образование

1990, Московский институт электронной техники.

1996, кандидат технических наук, Московский институт электронной техники.

2000, доктор технических наук, Московский институт электронной техники.

Занимаемые должности

1990 -1992 – инженер-стажер кафедры физико-химических основ технологии микроэлектроники;

1993 -1995 – очный аспирант кафедры Физико-химических основ технологии микроэлектроники;

1998 - 2000 – докторант кафедры Физико-химических основ технологии микроэлектроники;

2001 - 2009 – профессор кафедры материалов и процессов твердотельной электроники;

2009 - 2012 – заведующий кафедрой материалов и процессов твердотельной электроники;

C 2013 г. – профессор кафедры материалов функциональной электроники.


Научная деятельность

Область научных интересов

  • тонкие пленки металлов и сплавов, их получение и свойства;
  • твердофазное взаимодействие, фазовые переходы, физическая химия малоразмерных систем;
  • технология интегральных схем;
  • материалы и процессы формирования наноструктур.

Участие в организациях

Член диссертационного совета Д212.134.03 (МИЭТ);

Публикации

Опубликовано около 160 работ, автор 13 патентов

Наиболее важные публикации за последние 5 лет

Громов Д.Г., Гаврилов С.А., Редичев Е.Н., Аммосов Р.М. Кинетика процесса плавления-диспергирования тонких пленок меди. Физика твердого тела, 2007, т.49, вып.1, с.172-178.

Белоусов С.С., Гаврилов С.А., Громов Д.Г., Редичев Е.Н., Чулков И.С. Исследование и моделирование температуры плавления малоразмерных систем // Известия вузов. Электроника. №1, 2007, с. 15-21.

Буздуган А.А., Гаврилов С.А., Громов Д.Г., Редичев Е.Н., Чулков И.С. Феноменологическое описание процесса диспергирования на капли тонких пленок кремния толщиной 8-60 нм на инертной поверхности Al2O3 // Известия вузов. Электроника. №2, 2007, с. 21-28.

Громов Д.Г., Гаврилов С.А., Никитин А.В., Редичев Е.Н., Чулков И.С. Периодические структуры Cu/ITO, их оптические и электрофизические свойства // Материалы, процессы и оборудование нано-, микро- и оптоэлектронике: Сборник научных трудов. / Под ред.Ю.Н.Коркишко. –М.: МИЭТ, 2008, с. 21-28.

Буздуган А.А., Громов Д.Г., Гаврилов С.А., Чулков И.С. Гетерогенное плавление и диспергирование тонких пленок // Под ред.Ю.Н.Коркишко. –М.: МИЭТ, 2008, с. 66-86.

Громов Д.Г., Редичев Е.Н., Гаврилов С.А., Буздуган А.А., Чулков И.С., Сагунова И.В. Исследование свойств тонких пленок ZnO, полученных методом магнетронного распыления на холодную подложку// Сб. докл. Харьковской нанотехнологической ассамблеи – 2008. Нанотехнологии (Том I). Харьков: ННЦ ХФТИ, 2008, с. 64-68.

Громов Д.Г., Мочалов А.И., Сулимин А.Д., Шевяков В.И. Металлизация ультрабольших интегральных схем // Учебное пособие, под ред. Ю.А. Чаплыгина /М.: Бином, 2009, -277 с.

Громов Д.Г., Гаврилов С.А. Проявление гетерогенного механизма при плавлении малоразмерных систем // Физика твердого тела, 2009, т. 51, вып. 10, с. 2012-2021.

Гаврилов С.А., Громов Д.Г., Жигальский Г.П., Карев А.В., Кареев И.А., Чулков И.С. Шмелев С.С. Исследование шума вида 1/f в наноразмерных пленках золота // Известия вузов. Электроника. №6 (80), 2009, с. 37-43.

Gromov D. G., Gavrilov S. A., Redichev E. N., Chulkov I. S., Anisimov M. Y., Dubkov S. V., Chulkov S. I. Non-monotonic dependence of temperature of Au nanometer films dissociation into droplets on their thickness on Al2O3 surface // Appl. Phys. A, v.99, 2010, p. 67-71.

Gromov D.G., Gavrilov S.A., Dubkov S.V. Formation of carbonic nanostructures using PECVD and glowdischarge plasma at direct current // International Conference on Micro-and Nano-Electronics 2009, edited by K.A.Valiev, A.A.Orlikovsky, Proceedings of SPIE, Vol. 7521 (SPIE, Bellingham, WA, 2010) p.75210Y1-75210Y8.

Громов Д.Г., Жигальский Г.П., Карев А.В., Кареев И.А., Чулков И.С. Шмелев С.С. Флуктуационные явления в пленках никеля нанометровой толщины вблизи температуры плавления // Известия вузов. Электроника. №3 (83), 2010, с. 31-37.

Дубков С.В., Гаврилов С.А., Громов Д.Г., Красулин Г.А. Низкотемпературный процесс формирования углеродных трубчатых и графеновых структур // Известия вузов. Электроника. №4 (84), 2010, с. 28-32.

Gromov D.G., Gavrilov S.A., Redichev E.N., Dubkov S.V. Melting and dissociation of thin Au films into droplets on the inert Al2O3 surface under thermal treatment // Trends in Physical Chemistry, v.14, 2010, p.45-51.

Акуленок М.В., Андреев В.М., Громов Д.Г., Зиновьев Д.В., Мочалов А.И., Сулимин А.Д., Тузовский К.А. Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 т./ под ред.Ю.Н.Коркишко. – М.: Бином. Лаборатория знаний, Т.2: Технологические аспекты. – 2011, –252 с.

Громов Д.Г., Шулятьев А.С., Редичев Е.Н., Берестов А.Т. Влияние толщины и числа слоев на оптические и электрофизические свойства периодической структуры на основе Cu/ZnO:Ga // Известия вузов. Электроника. №4 (90), 2011, с. 9-13.

Gromov D.G., Gavrilov S.A. Heterogeneous Melting in Low-Dimensional Systems and Accompanying Surface Effects // in book “Thermodynamics - Physical Chemistry of Aqueous Systems” / Edited by Juan Carlos Moreno-Piraján. InTech publisher, 2011, ISBN 978-953-307-979-0, - 434 p.

Громов Д.Г., Козьмин А.М., Поломошнов С.А., Шулятьев А.С., Шаманаев С.В. Оптимизация условий формирования тонких пленок ZnO для использования в интегральных МЭМС-устройствах // Нано- и микросистемная техника. – №12. 2011. с.27-30.

Dubkov S. V., Gavrilov S. A., Gromov D. G., Krasulin G. A. Low-Temperature Process of the Formation of Tubular and Graphene Carbon Structures // Semiconductors, 2011, Vol. 45, No. 13, pp. 1705–1708.

Gromov D. G., Zhigalskii G. P., Karev A. V., Karev I. A., Chulkov I. S., Shmelev S. S. Fluctuation Phenomena in Nanoscale Nickel Films Nearthe Melting Point // Semiconductors, 2011, Vol. 45, No. 13, pp. 69–73.